PENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING

Author: 
Sugianto
Nathan Hendarto
Putut Marwoto
Edy Wibowo
Abstrak: 

Cadmium telluride (CdTe) mempunyai koefisien absorpsi cukup tinggi (α > 1x104 cm-1) dan mempunyai direct band-gap1,5 eV, sehingga berpotensi untuk pembuatan sel surya. Film tipis CdTe telah ditumbuhkan dengan metode dc magnetronsputtering. Film CdTe ditumbuhkan di atas substrat corning glass pada suhu 250oC dengan daya plasma 25 W, 30W dan 35watt. Hasil karakterisasi film dengan XRD menunjukkan bahwa penambahan daya plasma pada penumbuhan film tipis CdTetidak menimbulkan adanya perubahan struktur kristal yang signifikan. Struktur kristal ketiga film bersifat polikristal danberstruktur cubic dengan puncak difraksi dominan pada orientasi (111). Citra SEM memperlihatkan bahwa penambahan dayaplasma mempengaruhi mekanisme pertumbuhan yang mengakibatkan terbentuknya butiran-butiran dengan ukuran butir (grainsize) yang lebih besar. Film tipis CdTe yang ditumbuhkan pada daya plasma 30 W dan 35 W mampu mengabsorpsi seluruhspektrum cahaya tampak pada rentang panjang gelombang lebih rendah dari 800 nm, mempunyai energi gap Eg 1,50 eV dankoefisien absorpsi (α) 4,40 x 104 cm-1.