PEMBUATAN DAN KARAKTERITIK OFET BERBASIS FILM TIPIS CUPC DENGAN PANJANG UNTUK APLIKASI SENSOR GAS

Author: 
Sujarwata
Abstrak: 

Fokus utama dalam penelitian ini adalah pembuatan dan karakterisasi OFET berbasis film tipis CuPc dengan strukturbattom-contact dan panjang channel 100 μm untuk aplikasi sensor gas. Karakterisasi OFET berbasis film tipis CuPc diperolehbahwa daerah aktif untuk VDS adalah 2,79 V - 3,43 V dan kuat arus IDS dari 5,77 10-5 A - 0,0013 A. OFET akan aktif beroperasihanya diperlukan tegangan VDS (2,79-3,43) dan dengan ukuran kecil (6,15) mm2 serta jarak antara S ke D 200 μm. Aplikasisensor gas telah dilakukan penelitian, diperoleh bahwa OFET CuPc dapat mendeteksi dengan waktu respon (60 s) dan waktupulih (30 s).Sedangkan mobilitas pembawa muatan pada daerah linier (μ = 0,033353 cm2 V-1s-1 ) dan daerah saturasi (μ =0,012288 cm2 V-1s-1 )