8-11 Kajian Ellipsometri pada Lapisan Tipis Perak dan Nanopartikel Magnetit

Author: 
Muhammad Arifin
Kiki Megasari
Fatimah Nopriardy
Iman Santoso
Abstrak: 

Telah dibangun sistem pengamatan optik berbasis ellipsometri dengan panjang gelombang tunggal (laser HeNe, λ = 543 nm). Teknik ellipsometri berdasarkan pada pengukuran perubahan amplitudo (ψ) dan perubahan fase (Δ) dari polarisasi cahaya yang dipantulkan. Indek bias (N) material dapat diekstrak dari ψ dan Δ. Pada lapisan perak, kurva intensitas mengalami perubahan fase gelombang pada variasi sudut datang. Hasil penelitian menunjukkan nilai ψ sekitar 45° dan tidak tergantung perubahan sudut datang sedangkan nilai Δ pada logam berubah drastis pada kenaikan sudut datang. Indeks bias yang diperoleh pada lapisan perak adalah = 0,1039 + 2,6743i pada sudut datang 75°. Pada lapisan Fe3O4, indeks bias bagian real dan imajiner sebagai fungsi dari ketebalan lapisan dan sudut datang pada sampel. Pada sudut datang 75° dan ketebalan 50 nm diperoleh nilai indeks bias kompleks N = 1,662 + 4,4611i. Sistem ellipsometri dapat memperlihatkan perubahan indeks bias yang sangat kecil pada lapisan tipis Fe3O4.