4-7 Pengaruh Doping Zr pada Barium Titanat (BT) Terhadap Struktur Mikro Lapisan Tipis

Author: 
Herlin Dien Mahmudah
Yofentina Iriani
Ari Handono Ramelan
Abstrak: 

Lapisan tipis Barium Titanat (BT) dan Lapisan tipis BT doping Zirconium (Zr) atau BZT telah berhasil ditumbuhkan di atas substrat Pt/Si dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD). Parameter pada penelitian ini adalah jumlah lapisan 3 lapis dan persentase material dopan Zr yang digunakan adalah 1%, 2% dan 4 %. Sampel Lapisan tipis BZT kemudian dikarakterisasi menggunakan X-ray diffraction (XRD) dan dirifinement dengan menggunakan software GSAS untuk mengetahui struktur mikronya. Pada penelitian ini dilakukan pengukuran polarisasi listrik lapisan tipis BZT, menggunakan metode Sawyer-Tower. Hasil pengujian menggunakan XRD menunjukkan bahwa penambahan doping Zr mengakibatkan terjadinya pergeseran sudut difraksi dan perubahan ukuran kristal. Parameter kisinya menunjukkan bahwa BT dan BT yang didoping Zr memiliki struktur kristal adalah tetragonal. Pengujian menggunakan metode Sawyer Tower menunjukkan bahwa semua sampel bersifat ferroelektrik dengan munculnya kurva histerisis. Penambahan mol doping Zr mengakibatkan medan koersif dan polarisasi remanen yang semakin kecil.